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凈化廠房的潔凈度管理及節(jié)能運行

凈化廠房的潔凈度管理及節(jié)能運行

隨著我國電子工業(yè)的飛速發(fā)展以及產(chǎn)品的供過于求，各項產(chǎn)品的競爭日趨激烈，打贏這場競爭的關(guān)鍵是產(chǎn)品的質(zhì)量和價格。潔凈度是電子產(chǎn)品生產(chǎn)的前提條件，而低成本則是產(chǎn)品價格的基礎(chǔ)。下面介紹一下我們在此方面的一些管理經(jīng)驗，以供大家參考。

1 潔凈度管理

我們的生產(chǎn)車間要求的空調(diào)潔凈度為3000(英制，下同)及5000級，安裝廠家調(diào)試時均按實際設(shè)計數(shù)據(jù)確定，如：高效過濾器出口為lm／s左右的風(fēng)速。回風(fēng)口為2m／s左右的風(fēng)速，起初投產(chǎn)及中批量生產(chǎn)時，潔凈度能達到要求。調(diào)試廠家撤離后，隨著產(chǎn)量的增加，潔凈度逐漸達不到要求，加之設(shè)備的改造升級，實際產(chǎn)量超過設(shè)計產(chǎn)量時潔凈度問題更加突出，部分工位的潔凈度甚至降到100萬級；且該區(qū)域周圍大面積潔凈度超標(biāo)，公司由于擔(dān)心出現(xiàn)產(chǎn)品質(zhì)量問題一度停產(chǎn)，外方專家對超標(biāo)原因進行各種推測，始終沒有找到原因。后來筆者嘗試兩臺塵埃粒子計器同時在兩處測定，且取樣量由0．1英尺3減到0．01英尺3，先找到潔凈度數(shù)值較大點，儀器在較大點不動，另一儀器再換地地方檢測(當(dāng)然是較可疑的地方)，這樣經(jīng)過多次檢測，終于將許多因素排除后確認是小車排氣出口的油霧導(dǎo)致凈度大面積超標(biāo)；讓維修人員將所有油泵出口處的接頭認真處理，并檢測合格后，再到周圍范圍內(nèi)檢測居然達到1000級。利用同樣的方法還查到擴散的HF氣體，高壓噴嘴噴出的水霧都是潔凈度超標(biāo)的污染源，并采取將氣體擴散處增加圍簾，水霧處增加排風(fēng)量的方式，將源頭一一堵住。
今年4月在全集團十二個公司潔凈度檢測評比時，我公司凈化車間的潔凈度無一處超標(biāo)，總評為滿分而奪得名。并且此查找發(fā)生源的方法已在全集團內(nèi)廣泛開展。

2 節(jié)能運行管理

為了降低運行成本，我公司的空調(diào)運行采取了以下方法：

(1)冷凍水的溫度、壓力隨季節(jié)的變化而變化；夏季時由于大氣的溫濕度高，空氣送到生產(chǎn)現(xiàn)場之前，需要降溫除濕(室外大氣濕度經(jīng)常達85％以上)，這時我們將冷凍水溫控制在6～7℃，壓力5-5．5kg／cm2，冬季如果冷凍水還是以上的溫度、壓力，那么空調(diào)的冷凍水閥門開到很小也很難控制，*終導(dǎo)致冷凍水、加熱、加濕閥門三個都打開，造成能源的巨大浪費。為了節(jié)約能源，我們將冷凍水溫控制在溫度8-11℃，壓力在2．7～3．5kgf／cm2的范圍內(nèi)。此項簡單的調(diào)整，就可達到冬季空調(diào)只開兩個閥門(冷凍水、加熱或冷凍水、加濕)，60臺空調(diào)冬季平均每天節(jié)約400USRT的冷量以及30t的蒸汽。

(2)各工序的壓差按下限0．5mm水柱(5Pa)控制，雙電機空調(diào)盡量只開一臺。我公司的重要工序空調(diào)都設(shè)計為雙風(fēng)機運行，設(shè)計的換氣次數(shù)的參考值為同行業(yè)的平均值，上一節(jié)說過：我公司潔凈度在集團內(nèi)部排名，由于潔凈度都在1000級以下，經(jīng)過仔細計算送風(fēng)量，換氣次數(shù)，風(fēng)量減小后溫濕度變化，決定將部分空調(diào)的雙風(fēng)機改為單風(fēng)機運行，新風(fēng)量適當(dāng)加大，而潔凈度也稍有下降，濕溫度、正壓等參數(shù)也在規(guī)定范圍內(nèi)，此舉又為公司節(jié)約130多萬元電費。

(3)根據(jù)深圳夏季長、冬季短的特點，將恒溫恒濕空調(diào)的溫濕度基準適當(dāng)上調(diào)(即熱焓上調(diào))，以節(jié)約冷量和熱量。例如：我們的電子槍工程和膜工程起初的設(shè)計運行條件分為：22℃、55％和22．5℃、65％，經(jīng)過逐步摸索改善，現(xiàn)已將其溫濕度提高到24℃、55％和24．5℃、65％，僅這些空調(diào)運行一年節(jié)減的電費為140萬元。

(4)其他節(jié)能措施：在夏季為了減輕冷凍水的降溫除濕負荷，我們在不影響空調(diào)控制范圍的前提下，將夏季一直開冷凍水除濕、加熱升溫的空調(diào)設(shè)定點適當(dāng)上調(diào)，例如將24℃、55％上調(diào)到24．3℃、58％運行；將一直開冷凍水降溫、等溫加濕的空調(diào)濕度設(shè)定點適當(dāng)下調(diào)，例如24．5℃、65％調(diào)到24．5℃、62％運行；夏季新風(fēng)量和排風(fēng)量開到*??；冬季則在空調(diào)許可的情況下將新風(fēng)量和排風(fēng)量開到*大。舒適性空調(diào)則安裝溫控器，將環(huán)境溫度真正控制在26～28℃，以達到*大限度節(jié)能的目的。以上是本人在潔凈行業(yè)工作的一點心得，以供參改。

參考文獻

1《空氣調(diào)節(jié)設(shè)計手冊》．北京：中國建筑工業(yè)出版社，1986
2《簡明空調(diào)設(shè)計手冊》．北京：中國建筑工業(yè)出版社，2002

2．1 工藝布置改造方案

(1)把原有系統(tǒng)中的辦公室和展室調(diào)整到凈化區(qū)以外；

(2)千級間與非凈化區(qū)域緊鄰，有利于千級間的空氣狀態(tài)參數(shù)的控制，調(diào)整平面布置如圖2所示，原有設(shè)計中儲物混合在黃光室內(nèi)，經(jīng)甲方要求，改造方案中將儲物單間設(shè)置成一個房間，以利于生產(chǎn)和物品的管理；

(3)為了便于各功能區(qū)(黃光室等凈化區(qū)及擴散爐等舒適空調(diào)區(qū))進行風(fēng)量及正壓的控制和調(diào)節(jié)，各功能區(qū)均以彩鋼夾芯板作圍護結(jié)構(gòu)，以對凈化、非凈化、高溫等功能區(qū)進行隔離，保證氣密性，實現(xiàn)風(fēng)量、正壓等空調(diào)參數(shù)的控制。

2．2 凈化空調(diào)系統(tǒng)改造方案
(1)根據(jù)文獻【1】要求凈化區(qū)域與非凈化區(qū)域應(yīng)采用不同的空氣處理系統(tǒng)，所以將原有系統(tǒng)分成三個系統(tǒng)，其中千級間黃光室、配藥和儲物設(shè)為JK-1系統(tǒng)，其余的萬級潔凈房間為JK-2系統(tǒng)，空調(diào)區(qū)域擴散爐間K-1系統(tǒng)。JK-1系統(tǒng)和JK-2系圖2改造后工藝布置平面圖

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